技术指标
进气口法兰:DN200 CF DN200 ISO-K
排气口法兰(ISO-KF):DN40
抽速速率(L/s):N2:1200 He:750 H2:480 Ar:1160
压缩比:N2:1E9 He:1E4 H2:1E3 Ar:1E9
极限压强(Pa):CF:6E-7 ISO-K:6E-6
最大连续前级压强(Pa):400
最大前级压强(Pa):N2:500
最大气载量(sccm):N2:2300 He:1700 H2:1350 Ar:870
额定转速(RPM):24000
启动时间(min):≤9
冷却方式:水冷
冷却水流量(L/min):≥1
冷却水温度(℃):≤25
电源电压(V AC):DC24/AC220
最大功率(W):≤750
适配电源型号:FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II
建议前级泵(L/s):15
重量(kg):39(LF) 41(CF)
尺寸