1. 氢气纯度:>99.9995%2. 氢气流量:0-500ml/min3. 氢气压力:0.4MPa4. 零气流量:0-5000ml/min5. 烃类含量:<10ppb6. 零气压力:0.1-0.6MPa(无内置空压机,依靠入口空气压力)7. 零气露点:<-20℃8. 颗粒:<0.01μm 9. 工作条件:环境温度1-40℃,湿度<80%10. 功率:500W11. 外型尺寸:600×430×177mm(长×宽×高) 12. 净重:约15kg