输出流量

0～300ml/min

0～500ml/min

输出压力

0.4Mpa

气体纯度

99.999%（含氧量<3PPM，露点-56℃）

工作电压

～220V±10% 50Hz

最大功率

150W

150W

环境温度

10℃～40℃

环境湿度

≤85%

外型尺寸

400×200×300（mm）

仪器重量

9kg

9kg