焦距: 150mm

F/# : F/4.5

杂散光: 5×10^-4

最小步距: 0.0045nm

光栅名称: 光栅S30x30x6

光栅有效使用面积: 30mm×30mm

标准配置光栅参数: 7OG1200-300（1200g/mm,λp=300nm）

7OG600-1000（600g/mm,λp=1000nm）

狭缝有效尺寸(Slits Size): 刃口10μm自动保护，宽10μm-3mm可调，高5mm

外形尺寸(Size): 298mm×200mm×185mm

光路中心高：140mm（±5mm可调）

重量(Weight) : 10kg