裕隆时代LJ-16离子溅射仪参数指标

玻璃处理室

内径Ф 115mm x 高度130mm

真空保护

20PA配有微量充气阀调节工作真空

试样台尺寸

内径Ф 40mm, 可同时放六个样品杯

工作媒介气体

空气或氩气，配有氩气专用进气和微量充气调节

金靶尺寸

Ф58mm X 0.12mm

定时开关

控制溅射时间，范围为10～110S

真空系统

直联旋片真空泵 2L/秒

可用靶材

金靶，铂靶，镍靶

真空检测

皮氏计

产品尺寸

400mm X 500mm X 400mm（带玻璃罩）

工作电源

220 VAC 50Hz