?  仪器尺寸：480mm W x 320mm D x 240mm H

 ?  工作腔室：硼硅酸盐玻璃 160mm Dia x 120mm H 

 ?  真空系统：  涡轮分子泵，抽速为70L/s
      旋转机械泵：抽速为2L/s两级旋转机械泵，带防返油电磁阀及油污过滤器 

 ?  真空测量：采用复合真空计监测真空

 ?   极限真空度:  10-4mbar两级

 ?  工作真空度：10-1mbar（溅射真空度手动调整）

 ?  工作气体：溅射工作气体:氩气

 ?  溅射电流：0-20mA（磁控溅射靶0-100mA）

 ?  微调真空气阀：可连接φ3mm软管

 ?  电源：230伏/50Hz(包括泵最大电流为6安培)