技术指标
光学设计
HJYzl超环面消像差光栅
焦长
300 mm
孔径
f/7.5
分辨率
优于0.4nm
波长驱动
步进电机
高真空
10-6 mbar
真空泵法兰
DN63 LF
狭缝
测微狭缝
阵列探测器法兰
DN100CF/ICF152
可选项
自动或固定
返回
参考成交价格：
5~10万元[人民币] 
我要纠错