550 gr/mm

光谱范围: 10 – 50 nm

中心波长: 15 nm

550 gr/mm

光谱范围: 15 – 150 nm

中心波长: 35 nm

275 gr/mm

光谱范围: 50 – 300 nm

中心波长: 55 nm

光学设计

HJYzl超环面消像差光栅

焦距

320 mm

孔径

f/10

分辨率

0.4 nm (*)

波长驱动

手动

高真空

10^-6 mbar

真空泵法兰

DN100LF

真空计法兰

DN40KF

入射/出射狭缝

嵌入式

可选项:

波长驱动

步进电机自动驱动，USB2接口

狭缝

测微或者自动

手动光栅滑块

真空中实现2块光栅切换

超高真空

10^-9 mbar

(*) 采用550gr/mm光栅计算