54403130

(仅提供母光栅)

3600gr/mm 光栅，

光谱范围：4-16nm (77-310 eV)

出射端线色散: 0.2-0.5nm/mm

平均分辨率: 0.05nm

54402130

1800gr/mm 光栅，

摄谱仪模式下

光谱范围：8-32nm(39-155eV) 或 7-32.5nm

出射端线色散：0.04-0.1nm/mm

平均分辨率：0.1nm

54401130

550gr/mm 光栅，

摄谱仪模式下

光谱范围：30-125nm (10-41eV)

或26-126nm

出射端线色散：0.08-0.3nm/mm

平均分辨率：0.3nm

光学设计

HJYzl平面光栅加超环面镜光路设计

焦长

1000 mm

孔径

f/48

分辨率

低至0.02nm

波长驱动

步进电机，USB2.0接口

高真空

10^-6 mbar

真空泵法兰

DN63 LF

狭缝

测微狭缝

阵列探测器法兰

DN100CF/ICF152

可选项:

狭缝

固定或内置可切换狭缝

超高真空

10^-9 mbar配备DN100CF

真空泵法兰和DN40CF真空计法兰