HORIBA UVISEL 2研究级全自动椭偏仪参数指标

技术参数：

·光谱范围：190-2100 nm

·8种光斑尺寸: zei小35 X 85 um

·探测器：3个独立探测器，分别优化紫外，可见和近红外

·自动样品台尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

·样品水平度自动调整

·自动量角器：变角范围35°- 90°，全自动调整，zei小步长0.01°

• Scanning Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer:190-880nm

• Vision system providing a real-time colour image of the sample and exact measurement spot using the ellipsometer head.