MProbe MSP显微薄膜测...
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测量范围: 1 nm -800um

波长范围: 200 nm -1700 nm

光斑直径：200um-4um

适用于实时在线测量，多层测量，非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

测量指标：薄膜厚度，光学常数

界面友好强大: 一键式测量和分析。

实用的工具：曲线拟合和灵敏度分析，背景和变形校正，连接层和材料，多样品测量，动态测量和产线批量处理。


基本规格：

精度：<0.01nm或0.01%（在200nm氧化物上进行100次测量）

精度：<1nm或0.2%（取决于胶片堆叠）

稳定性：< 0.02nm或0.2%

光斑尺寸：4μm至200μm（典型值 - 取决于所使用的物镜）

样品尺寸：最大 200 mm


盒子里有什么

  • 主机（包括光谱仪、光源）

  • 带适配器的正置式检测显微镜附件、50W TH 照明器、2MB CMOS 相机和 4 个物镜转塔（包括一个 LWD 物镜）

  • 光纤反射率探头

  • TF公司-RA软件，USB加密狗（许可证密钥），带有软分发的USB记忆棒，用户指南和其他材料

  • 校准套件（裸硅晶圆和/或石英板和/或铝镜），具体取决于型号和黑色吸收器

  • 测试样品200nm氧化硅或PET薄膜，取决于型号

  • USB 电缆（用于将主机连接到 PC）

  • 24VDC电源适配器（110/220V）


选择描述备注
-XY 映射阶段XY电动测绘级，支持控制器和测绘软件。

用默认包含的精细快速调整取代标准手动显微镜载物台（275mmx 275）
150x150mm和200x200mm选项。
台阶尺寸： 0.5 μm;
重复性：1μm。
– 可见光和可见近红外LWD物镜-2x 透镜（200μm 测量）可见光镜片：430nm-900nm波长范围
-10x 透镜（40μm 测量）VisNIR镜头：450-1700nm波长范围
-20x 透镜（20μm 测量）兼容标准 LWD 长焦 95mm 镜头、安装螺纹 M26x36TPI（如 Mitutoyo）
-50x 透镜（8μm 测量）　
-100x 透镜（4μm 测量）　
标准 400μm 光纤光斑尺寸　
– 所有镜面消色差物镜所有镜像 卡塞格林物镜：LWD 95mm 多焦点物镜，带安装螺纹 M26x36TPI
-10x物镜；-15x 物镜；-20x物镜完全覆盖 UVVisNIR 系统波长范围：190-1700nm


MPROBE 40 型号 波长范围，纳米描述厚度范围备注
MPROBE VIS-MSP400-1000nmF4光谱仪，2048像素CCD，16位ADC，5W卤钨灯10 纳米 – 75 微米光斑尺寸可低至 2μm，采用 100 倍物镜和 200μm 纤芯光纤
MPROBE UVVISSR-MSP200纳米 -1100纳米F4 光谱仪， 2048 像素 （背面）， 16 位 ADC 20W TH 灯， 30W 氘短方形灯1纳米 -75微米光斑尺寸可低至 20μm，全反射物镜为 40 倍，光纤光源为 400μm
MPROBE VISHR-MSP700纳米 -1100纳米F4光谱仪，2048像素CCD（背面），16位ADC，5W TH灯1微米-400微米光斑尺寸可低至 2μm，具有 100 倍物镜和 200μm 光纤
MPROBE NIR-MSP900纳米-1700纳米F4 光谱仪， InGaAs 探测器 512 像素， 16 位 ADC， 5W TH 灯50纳米 – 85微米光斑尺寸可低至 2μm，采用 100 倍物镜和 200μm 纤芯光纤
MPROBE UVVISNIR200纳米 -1700纳米F4光谱仪，2048像素CCD（背衬），16位ADC 20W TH灯，30W氘短方形灯。 F4 分光镜，铯砷化镓探测器 512 像素，16 位 ADC，5W TH 灯1纳米 -85微米光斑尺寸可低至 20μm，全反射物镜为 40 倍，光纤光源为 400μm
MPROBE UVVisF200纳米 -800纳米F4 光谱仪， 2048 像素 CCD， 16 位 ADC， 10W 或 20W Xe 闪光灯1纳米 -5微米光斑尺寸可低至 20μm，全反射物镜为 40 倍，光纤光源为 400μm
MPROBE NIRHR1500纳米 – 1550纳米F4 光谱仪、InGaAs 探测器 512 像素、16 位 ADC、5W TH 灯或 SLD 选项 10μm-1800μm （玻璃） 4μm-400μm （Si）光斑尺寸可低至 2μm，采用 100 倍物镜和 200μm 纤芯光纤


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