Map薄膜厚度测绘仪技术特点

【技术特点】-- Map薄膜厚度测绘仪

Map薄膜厚度测绘仪用于测量厚度分布，评价薄膜厚度的均一性，可与所有MProble系列的薄膜测厚仪联用。

大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如：氧化物，氮化物，光刻胶，高分子聚合物，半导体(硅，单晶硅，多晶硅)，半导体化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂层(碳化硅，类金刚石炭)，聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)

Map薄膜厚度测绘仪用于测量厚度分布，评价薄膜厚度的均一性，可与所有MProble系列的薄膜测厚仪联用。

厚度测绘台包含：

1. XY电动载物台，行程：150mm/200mm/300mm

2. 19英寸铝制底座

3. 探头适配器

4. 载物台控制器

5. 厚度拼图软件

【技术特点对用户带来的好处】-- Map薄膜厚度测绘仪

【典型应用举例】-- Map薄膜厚度测绘仪