日立高分辨型双束系统NX5000技术特点

【技术特点】-- 日立高分辨型双束系统NX5000

NX5000新型高分辨FIB-SEM双束系统采用冷场发射电子枪和全新的Aquila α镜筒，具有高分辨的观察能力；同时大束流的离子枪和实时观察功能使其具有超高的加工效率。独特的第三束（Ar）加工可以避免样品损伤，为超薄样品和复杂的制备提供了新的解决方案，可以满足纳米材料、半导体材料、生物材料等多种样品的快速、无损、精细加工。

主要特点：

1. 高分辨冷场发射电子枪，实现高分辨观察（0.7nm@15kV）

2. 全新的Aquila α镜筒和多探测器实现不同观察目的

3. 大束流（100nA）、高稳定性离子枪实现快速加工

4. 实时观察、多探针系统和7轴样品台等技术有效防止窗帘效应

5. 第三束Ar的引入实现无损和超薄样品的加工

6. 多种沉积气体可选

7. 全自动TEM样品制备

应用领域：

纳米材料微加工

半导体及电子元器件加工

生命科学

【技术特点对用户带来的好处】-- 日立高分辨型双束系统NX5000

【典型应用举例】-- 日立高分辨型双束系统NX5000