日立 MI4050高性能聚...

日立 MI4050高性能聚焦离子束系统FIB-SEM参数指标

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项目内容
样品尺寸50mm×50mm×12mm（t）以下
样品台5轴电动机械优中心马达台
加速电压1～30kV　（0.5kV～　选配）
（0.5～1.0kV ： 步长0.1kV）
（1.0～2.0kV ： 步长0.2kV）
二次电子分辨率4nm＠30kV
最大探针电流90nA
最大探针电流密度50A/cm2


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