X射线管 | fX-SEMTM | X-BeamTM |
阳极类型 | 底窗穿透型 | 侧窗型 |
靶材料 | Ag, Mo, & W | Ag, Cu, Mo, Rh & W |
加速电压 | 10-35kV | 0-50kV |
束流 | 0-100μA | 最大1mA |
阳极束斑大小 | <500μm | 10, 40μm |
准直器大小 | 200μm, 500μm, 1000μm(或其他) | zl的多毛细管聚焦光学系统 |
滤波片 | 根据需求可安装 | 根据需求可安装 |
冷却需求 | 传导冷却,不用风冷 | 功率>10瓦时,风冷;其余传导冷却 |
控制性/安全性 | 可控kV/μA、X射线开关、kV/μA显示;与SEM互锁、键控电源开关、与高压电源互锁、高压警示 | 可控kV/μA、X射线开关、kV/μA显示、内部互锁阀;键控电源开关、高压警示 |