表面测量仪器与系统MarSurf LD 260
开始操作仪器便可以对形貌进行测量监察
尽早识别误差，节省纠正时间
仪器可输出不同的轮廓数据格式，并对机械加工进行控制（死循环）
增加灵活性和实用性
不同类型的旋转对称非球面址可用一套设备进行测量，不需额外增加设备
保证测量结果正确无误
高精确度MarSurf LD 260是精确测量工件的基础，垂直方向分辨率2nm,形状误差小于100nm，保证了非球面产品的再现性
整座测量系统固定在控制柜中，附加的减震装置大大降低了周围环境对设备精度的影响
与激光平涉仪比较，接触式测量技术科实现光学粗糙度表面2D和3D测量，所以完全可在加工前进行测量和修正（精磨）。