表面测量仪器与系统MarSurf-LD130-LD260
粗糙度和轮廓度二合一
高效的测量和定位极大的缩短了测量时间
创新性的测头系统解决方案
测臂的实时识别带来更快和更可靠的测臂更换
基于标准化设计的友好界面，不需要完全的拆分机器即可实现仪器的保养
 
日益增加的各种测量任务需要要求了对粗糙度和轮廓度的同时测量。为了满足这一需求，测量单元必须实现高级别的计量性能。亚纳米级的分辨率，小于20nm的RZ残余误差仅是需求中的两项。