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型号/model | WBDQC-4 | |
可加热材料 | 非易燃易爆的任何材料 | |
微波频率 | 2.45GHZ±50MHz | |
加热方式 | 等离子加热、纯微波加热、传统电加热、混合加热 | |
最大功率/ KW(连续、可调) | 4 | |
样品腔长度 | 标配100mm可根据用户需求订制 | |
加热样品腔(材质) | 石英管（微波等离子工作模式） | 石英管&刚玉管（其它加热方式） |
控温范围/℃ | 1100℃石英样品腔直径：Φ45mm、Φ60mm、Φ100 mm 可选； | 1500℃刚玉样品腔直径：Φ45mm、Φ60mm 可选； |
温度测试元件 | 微波场专用传感器 | |
温度分辨率/℃ | 0.1 | |
样品台最高温度范围 | 室温-1200℃、更高温度可选配 | |
控温精度/℃ |
1200℃以下±1；1200℃以上±2℃ | |
温度偏差/℃ | ||
温度稳定波动度/℃ | ||
冷却方式 | 风冷 | |
恒温区长度/mm | 标配100mm可根据用户需求订制 | |
升温速率(标配) | 0～200℃/min（微波等离子工作模式除外） 任意设定，可编程、分段加热 | |
温度控制方式 | 10段可设工艺参数，7寸触摸屏操作，带数据存储功能；提供手动、自动、恒温控制模式，曲线实时显示 | |
控制气体 | 控制气体：H2、CH4、Ar、N 2 、其它气体可选 | |
流量控制 | 标配 2 套质量流量控制器：七星华创（真空保护阀门后置，匹配真空模式）；精度：0.8% | |
最大耐压 | 1MPa；控制响应时间：10ms | |
真空系统真空泵 | RVP2008；压力范围：10 -3 Torr~760 Torr 最大抽速：8.5m 3 /h | |
真空计 | 数显真空计：1atm-10 -1 Pa | |
标配 | 质量流量自动控制系统配备控制计算机及控制软件，可以内置实时显示和保存生长参数 | |
气路其他配置 | 气柜、气路及阀门等 | |
端口 | 不锈钢 KF50 法兰接口 | |
电源电压（V） | 220 | |
微波泄漏量/ mW/㎝2 | ≤0.4 | |
外型尺寸（长′宽′高）/mm | 1100×750×1900 | |