NWR193HE 高能量准分子激光剥蚀系统参数指标

激光器：193nm COMPexPro 102 ；波长193nm，脉冲宽度< 20ns

重复频率： 1-20Hz

能量密度： > 50 J/cm² 

光斑尺寸： 2至300μm，多种尺寸可选

剥蚀池： 100mm x 100mm, TwoVol2 

剥蚀形态：完全平整和均匀

XY 移动载物台：100mm x100mm 行程, 精度<1µm

质量流量控制器： 内置集成式，软件自动控制

ICP-MS 触发模式： 双向触发控制

主观测系统：高分辨数字摄像机， 15X-60X光学放大（物镜至摄像机的放大倍数），<2μm光学分辨率

辅助观察系统：25mm广角导航视野， 手触式LCD；导航屏幕

照明：高亮度 LED, 三种照明模式， 软件控制

偏振： 软件控制的旋转交叉偏振器

软件：全新ActiveView2软件

通用指标

整机安全等级： 完全保护， Class-1系统

保修期 ：12 个月

尺寸 ：81cm x 130cm x 148cm (D x W x H) 

重量 ：935lb (425Kg)

冷却方式： 风冷

平台： 先进的光路设计使仪器本身小巧紧凑，提高实验室效率

气体处理： 平台气体储存和处理

实验室要求

温度： 70oF + 10oF (21℃ + 3℃） 

相对湿度： 20% - 65% 不冷凝

电源要求： 100-110V (AC), 3A, 50/60 Hz；220-240V  (AC), 3A, 50/60 Hz

其他选配件

150mm x 150mm, TwoVol2 剥蚀池

第二路软件控制质量流量控制器， 用于N₂载气控制

可供选择的多种剥蚀池技术，包括自我修复和冷冻池等

更高频率选择(100 Hz) ，水冷

可选矩形可旋转光斑(XYR)，调节精度1μm，旋转角度精度1°

可选圆形无级可调光斑 (IVA) ，调节精度1μm

可选剥蚀池支架