NWR193准分子激光剥蚀系统参数指标

性能参数

激光器：Coherent ExciStar XS excimer laser @193nm

光束束斑： 平底，带匀化器

频率： 1-200 Hz (500Hz 选配)

激光光学能量衰减器： 带1000步进的高分辨率的光学衰减器，可以实现激光光束能量精确控制

能量密度@样品表面： >15 J/cm2 at the sample surface

光斑尺寸： 13个圆形光斑尺寸，1-150µm

样品池：双体积样品池- TwoVol1

XY 平台： 100mm x 100mm, 分辨率1µm 

质量流量控制器： 标准: 0 – 1 L/min He MFC

信号触发：双向触发线；激光操作软件内置ICP-MS系统软件，真正的双向触发，实现更好的控制和自动化

主观察系统：全高清1080p数码相机；15倍至60倍放大倍数

辅助观察系统： 25mm的宏观视野导航观察

照明系统：3个高强度LED光源（同轴，环形和透射）完全由软件控制

偏振器： 旋转正交偏振器，软件控制

软件：超领先的最新版本ActiveView2 软件

基础规格

安全等级：完全联锁， Class 1类 激光系统

保修期：12 months

尺寸：89cm x 79cm x 150cm (35” x 31” x 59”) DxWxH

重量：270kg (600lb)

冷却系统：风冷

激光平台：超稳定设计推车

安装环境要求

温度： 21°C ±2°C (70°F ±10°F)

相对湿度： 20% - 65% non-condensing

电源要求： 100-110V (AC), 6A, 50/60Hz；220-240V (AC), 3A, 50/60Hz

选配附件

TwoVol2 样品池：准确度，精密度，吹扫时间，清洗时间等性能明显提高；可选尺寸： 100mm 或 150mm

CryoCell：液氮低温冷冻附件；温度低至-100°C

IVA：无级可调圆形光斑调节附件，调节精度1μm；1μm至150μm的圆形光斑尺寸任意可选；软件控制

XYR：矩形可旋转光斑调节附件，X和Y调节精度1μm，旋转角度精度1°；提供正方形或矩形剥蚀光斑，定制剥蚀路径

质量流量控制器：Optional: 0 – 100 mL/min N2 MFC；Optional: 0 – 1 L/min Ar MFC

DCI：双同心样品引入附件；用于超快速冲洗和成像分析

保修延期和服务合同：根据客户需求