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新一代高性能激光浮区法单晶炉
参考成交价格:
50~100万元[人民币]
制 | 加热类型 | 5束激光 |
激光功率 | 2KW |
熔区最高温: | ~3000℃* |
测温范围 | 900℃~3500℃ |
温度稳定性 | +/-1℃ |
晶体生长控制 | 晶体生长最大设计长度 | 150mm* |
晶体生长最大设计直径 | 8mm* |
晶体生长最大速度/转速 | 300mm/hr;100rpm |
样品腔真空度/压力 | 10-4torr to 10
bar |
样品腔气氛 | O2/Ar/混合气 |
晶体生长监控 | 高清摄像头 |
晶体生长控制 | PC控制 |
其它 | 占地面积 | D140 xW210 x H200
(cm) |