发生器

频率范围： 10 μHz ~ 35 MHz

电压范围： ±100 μV ~ ±10 V DC + peak AC

测量范围

感应系数： 10 nH to 10 kH

电容：1 pF to 1000 μF

电阻： 1 mΩ to 500 MΩ

基础准确度： 0.1%

利用阻抗图谱计算介电常数：

ω=2 π f                                 f   为测得阻抗频率值

电容C=1/( ω*z’’)               z’’ 为测得阻抗虚部值

电容C=S*ε / 4π Kd                K 为静电常数  9E+09

介电常数ε=4π KdC/S            d 为薄膜厚度

                                             S 为薄膜面积

介电损耗D=1/tan θ              Z’ 为测得阻抗实部值