+  设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成

+  工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面
+  测量速度快，定位样品采样带宽10MHz
+  环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度
+  校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）

+  测量精度高，探测器分辨率高达1 pm

激光探头技术参数表

IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。

探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。

zei低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。