NMI iNano 桌面式纳米...
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致动器规格
位移测量允许范围
位移范围50微米
位移分辨率0.02  nm
典型噪声<0.1  nm
加载应用电磁场
最大加载50mN
加载分辨率3nN
控制器规格
数据采集速率100  kHz
闭合回路CPU控制速率500  Hz
动态激发频率0.1  Hz-1 kHz

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