测量范围：薄膜厚度范围：1nm-300nm； 折射率范围：1-10
测量最小示值：≤1nm 入射光波长：632.8nm
光学中心高：80mm 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器方位角范围：0°- 180°读取分辨率为0.05°
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：±1nm和±0.01
主机重量：25kg 入射角连续调节范围：20°- 90°精度为0.05°