最大加载载荷：

50mN

最大加载载荷：

1000mN

X 向最大行程：20 mm

纵向载荷分辨率：

3nN

纵向载荷分辨率：

6nN

Y 向最大行程：20 mm

压头最大移动范围：

50um

压头最大移动范围：

80um

Z 向最大行程：25 mm

位移噪音背景:

<0.01nm

噪音背景:

<0.1nm

Encoder X-Y-Z sensor resolution： 4 nm

位移数字分辨率：

<0.002nm

位移数字分辨率：

<0.004nm