测量范围

  Z轴（垂直）

  160μm

  X轴（水平）

  17.5mm

  分辨率

  Z轴（垂直）

  0．01μm/±20μm

  0．02μm/±40μm

  0．04μm/±80μm

  测量项目

  参数

  Ra、Rq、Rz、Rt、Rp、Rv、RS、RSm、Rz(JIS)、Ry(JIS) 、RSk、R3z、Rmax、Rpc、Rmr；

  标准

  ISO,ANSI,DIN,JIS

  图形

  粗糙度轮廓，支承率曲线，直接轮廓

  滤波器

  RC,PC-RC,Gauss,D-P

  取样长度(lr)

  0.25,0.8,2.5mm

  评定长度（ln）

  Ln= lr×n    n=1~5

  传感器

  测量原理

  位移式差动电感

  触针

  天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径

  测力

  <4mN

  导头

  红宝石，滑行方向半径40mm

  滑行速度

  lr=0.25,   Vt=0.135mm/s

  lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

  lr=2. 5,    Vt=1mm/s

  返回      Vt=1mm/s

  示值误差

  不大于±10%

  示值变动性

  不大于6%

  电源

  内置锂离子充电电池，用8.4V,800mA充电器充电

  外形尺寸

  119×47×65mm

  重量

  约380g