HMDS预处理烘箱参数指标

HMDS技术参数

型号：PVD-090-HMDS

容积：90L

加热方式：内腔体外侧加温

控温范围：R.T.+10～250℃

温度分辨率：0.1℃

控温精度：±0.5℃

隔板数量：2PCS

真空度：常压～<133Pa或1TORR以下

真空泵：抽气速度4升／秒，型号DM4

电源：AC220/50HZ

额定功率：3.0KW

内胆尺寸mm：450X450X450 （宽*深*高）

外形尺寸mm：650X640X1250（宽*深*高）

连接管：316不锈钢波纹管，将真空泵与真空箱完全密封无缝连接

PVD-210-HMDS技术参数：

电源电压：AC380V/50Hz

输入功率：4000W

控温范围：室温+10℃-250℃

温度分辨率：0.1℃

温度波动度：±0.5℃

真空度：常压～<133Pa

容积：210L

内室尺寸（mm）：560*640*600

外形尺寸（mm）：720*820*1425

载物托架：3块

时间单位：分钟

选配：

1）加急停装置（标配已含）

2）波纹管2米（标配含1米）

3）富士温控仪表（温度与PLC联动）

4）三色灯

5）增加HMDS液体瓶

6）下箱柜子（304不锈钢）

7）压力记录仪（带曲线）

8）温度记录仪（带曲线）

备注：选配压力记录仪、温度记录仪时，因工艺需要改变设备整个外箱结构，请参考实物图。外壳采用SS41粉末静电喷涂，内胆采用316L不锈钢，外箱尺寸为（W*D*H）mm：980x655x1600（含下箱柜高700），下箱柜空置。