种类 3080L
粒子类型 固体或非挥发性液体
粒径范围 10～1000nm
最大颗粒浓度 10⁸＃/cm³
气溶胶流量 0.2～2L/min
保护气流量 2～15 L/min
温度范围 7～43℃
压力范围 1±0.2 atm

种类 3080N
粒子类型 固体或非挥发性液体
粒径范围 2～150nm
最大颗粒浓度 10⁸＃/cm³
气溶胶流量 0.3～3L/min
保护气流量 3～20 L/min
温度范围 7～43℃
压力范围 1±0.2 atm