运动控制器：

• 标准三维控制-X、Y、Z，可拓展至四维- X、Y、Z 、W
• 具有约500nm的控制精确度和重复性
• 支持加速方式：慢抛物线加速、快抛物线加速、线性加速

驱动器：

• 速度：  zei高可达2 mm/sec 无负载
• 定位精度：  移动距离的~ 0.2%
• 双向重复性：~ 1.0 微米
• 400 整步/ 圈：(317.5 微步/ 400 = 0.79375 微米/ 步)；(400 / 317.5 = 1.2598 整步/ 微米)
• 微步/ 整步：1.2598 整步/ 微米；(16 ×  1.2598 = 20.157 微步/ 微米)；(1 微米/ 20.157 = .04906 微米/ 微步)

信号处理器：

• 放大器增益： ×10/×100 标准
• 频宽： 10 Hz 标准
• 可进行双通道同时采集

激光光源：

• 多线氩离子激光器：30 mW (457, 488, 515 nm)
• 氦氖激光器(绿)：1 mW (543 nm)
• 氦氖激光器(红)：10 mW (633 nm)

扫描单元：

• 扫描速度：2 到8 ms (2 to 5 ms) / 像素
• 多维扫描：时间, Z 和波长任意组合
• 线扫描：直线、曲线和点扫描等

非损伤微测软件：

• 操作系统：Windows XP (英文版)
• 内存：1 G 或者更高
• CPU：Pentium® 4（1 GHz）或者更高
• 硬盘：80 G 或者更高