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扫描探针显微镜/压电响应力(PFM)参数指标
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样品台移动范围: 5mm*5mm
样品尺寸: 直径≤20mm, 高度≤10mm
定位检测噪声: XY≤0.3nm, Z≤15pm
价格区间: 10万-50万
仪器种类: 进口扫描探针显微镜
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