冷阴极和皮拉尼复合真空规
INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规MPG400和MPG401, 测量范围从
5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对
数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.