CDG025D, CDG025D-S技术特点

【技术特点】-- CDG025D, CDG025D-S

SKY® 电容膜片真空计
INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计,
在苛刻的生产环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空
计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设点调整. 抗腐蚀
性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性与预期数百万次压强
周期包括大气冲击的长使用寿命. 独特的传感器屏蔽(zl技术)保
护真空计防止过程污染. 坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了
EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿性. CDG025D真空计为从电源接
通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准.

优点
电源接通后的快速稳定性
暴露大气压后的快速恢复性
抗腐蚀性陶瓷传感器
卓越的长期讯号稳定性
温度补偿
保护传感器防止污染
一键调零功能
宽范围电源
2个设点(选项)
RS232接口(选项)

用途
要求高的应用条件下,精确而快速的压强测量:
用于刻蚀, CVD, PVD, ALD半导体制造设备
数据贮存和显示器制造设备
工业真空设备
常用高精度真空测量

【技术特点对用户带来的好处】-- CDG025D, CDG025D-S

【典型应用举例】-- CDG025D, CDG025D-S