多功能集成清洁和单分子层气态镀膜系统参数指标

系统参数

尺寸

• 样品尺寸：上限是8”x8”

• 腔体尺寸：10”x10”x5.75”

• 全部机器尺寸：27”x21”x8.75”

典型基板

• 硅和氧化硅

• 砷化镓（GaAs）

• 磷化铟（InP)

• 玻璃，石英，熔石英

• 金属

• 陶瓷材料

气体，紫外Ozone和加热

• 真空：< 100 mTorr

• 最多4个气体接口可用于单分子气体镀膜

• 2”直径排气管

• 紫外灯波长：185纳米，254纳米，365纳米，436纳米

• 紫外光功率：250瓦

• 紫外光强度：> 10mW/cm2 (254nm波长）

• 基板加热能力：700瓦，最大温度175摄氏度