混气装置:采用异形气体混合仓与气体扰流板技术
控制系统:全自动控制,并可对配气方案进行程序控制,实现流量、使用气体、使用时间的随意编程
气路系统:使用316L不锈钢管路及卡套式连接方式,使系统耐腐蚀、气密性好
气路控制系统:使用日本SMC电磁阀,并为每个气路设置单向阀,已防止气体逆行,所有电磁阀均由软件控制配气方案,可根据求,实现对每组气体的流量进行编程调整,即流量的多段控制
应用气体:NH3、N2、C3H8、C2H2、C3H4、SO2、CO2、NO2、CH4、Kr、HCl、O2、H2、NO、CO等
流量控制:0~200mL/min、100~500mL/min、500~1000mL/min 可选
工作压差:(0.1 ~ 0.5) MPa
工作耐压:3MPa
重复精度:±0.2%
工作精度:±1%
工作温度:5 ℃ ~ 45 ℃
操作系统:全自动软件控制,置入智能触控系统,实现流量、使用气体、使用时间的任意编程
气路系统:使用美国Clippard电磁阀,为每个气路设置单向阀,防止气体逆行,所有电磁阀均由软件控制
混气通道:2通道/3通道/4通道可选,使用316L不锈钢管路及卡套式连接方式,系统耐腐蚀、气密性好
流量控制:高精度质量流量控制器,标配量程100~1000ml/min,其它量程可选配
应用气体:NH3、N2、C3H8、C2H2、C3H4、SO2、CO2、NO2、CH4、Kr、HCl、O2、H2、NO、CO等
流量控制:0~200mL/min、100~500mL/min、500~1000mL/min 可选
2通道:2套MFC
3通道:3套MFC
4通道:4套MFC
进气及出气:进气口:安装2~4个进气接口,能同时进行2~4种气体组分的混合
出气口:接口数量可根据使用需求选择(4个/ 3个/2个/1个),接口尺寸根据对接设备定制
MFC精度:±1%F.S~±1.5%F.S(可选七星华创/汇博龙或其他进口品牌)
重复性:±0.2%F.S
工作温度:5 ℃ ~ 45 ℃
应用气体:氨气、氮气、丙烷、乙炔、丙炔、二氧化硫、二氧化碳、二氧化氮、甲烷、氪气、氯化氢、氧气、氢气、一氧化氮、一氧化碳等