混气装置：采用异形气体混合仓与气体扰流板技术

控制系统：全自动控制，并可对配气方案进行程序控制，实现流量、使用气体、使用时间的随意编程

气路系统：使用316L不锈钢管路及卡套式连接方式，使系统耐腐蚀、气密性好

气路控制系统：使用日本SMC电磁阀，并为每个气路设置单向阀，已防止气体逆行，所有电磁阀均由软件控制配气方案，可根据求，实现对每组气体的流量进行编程调整，即流量的多段控制

应用气体：NH3、N2、C3H8、C2H2、C3H4、SO2、CO2、NO2、CH4、Kr、HCl、O2、H2、NO、CO等

流量控制：0~200mL/min、100~500mL/min、500~1000mL/min 可选

工作压差：(0.1 ~ 0.5) MPa

工作耐压：3MPa

重复精度：±0.2%

工作精度：±1%

工作温度：5 ℃ ~ 45 ℃