技术参数
1.极限真空:1×10-9Pa
2.前级泵抽速:采用I-PID技术可调
3.供电系统:与MPSC控制系统集成
4.控制系统:采用MPSC控制系统,可智能控制并有效协调前后级工作状态
硬件系统:
1.前级泵采用德国莱宝双极旋片真空泵
2.分子泵采用德国莱宝涡轮分子泵
3.配置高精度德国莱宝压力传感器
4.配置独有NF法兰接口
5.配置MPSC控制主板