UP1L 超高纯气体纯化器产品参数：

l  原料气纯度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2

l  产品气纯度：≥99.99999%

l  产品气杂质含量：

H2O ≤5ppb

O2 ≤10ppb

N2 ≤10ppb（原料气非 N2 ）

H2 ≤10ppb（原料气非 H2 ）

CO ≤10ppb

CO2 ≤10ppb

CH4 ≤10ppb

NMHC ≤10ppb

l  zei大工作流量：1000sccm

l  内置颗粒过滤器：2 微米

l  软件功能：可显示多达7种工作状态或故障报警，并具有寿命计时及提醒功能

l  扩展功能：多台纯化器可同一终端批量控制，也可与其他设备集成使用

l  zei大工作压力：1.0MPa

l  进出气接口：1/8″卡套或VCR 接头

l  纯化柱及管路：EP级316不锈钢

l  电源电压及功率：220V，0.8kw

l  产品外形尺寸：170×160×320mm