UP10M工业用超高纯气...
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委托上海正帆科技公司对 GRINM-UP1L 氩气纯化器性能检测结果

 

气体类型

H2

O2/Ar

N2

CH4

CO

CO2

H2O

单位

原料气

0.074

<0.01

0.248

<0.01

<0.01

<0.01

未测试

ppm

纯化后

<0.01

<0.01

<0.01

<0.01

<0.01

<0.01

<0.033

ppm


UP10M工业用超高纯气体纯化器产品参数:

l  原料气纯度要求:≥99.999%,He/Ar/H2 /N2

l  产品气纯度:≥99.99999%

l  产品气杂质含量:

H2O ≤5ppb

O2 ≤10ppb

N2 ≤10ppb(原料气非 N2 )

H2 ≤10ppb(原料气非 H2 )

CO ≤10ppb

CO2 ≤10ppb

CH4 ≤10ppb

NMHC ≤10ppb

l  zei大工作流量:≤10Nm3 /h,可定制2-30Nm3 /h

l  阀门:EP 级气动隔膜阀

l  内置颗粒过滤器:2 微米

l  显示屏:组态控制软件,触摸屏工业计算机控制

l  zei大工作压力:2.0MPa,氩气可定制20兆帕高压

l  出入口气体压差:0.2MPa

l  进出气接口:1/4″VCR

l  纯化柱及管路:EP级316不锈钢

l  管路连接:Swagelok 自动轨道焊接

l  电源电压及功率:220V-380V,10-20kw

l  产品外形尺寸:500×700×1600mm

 


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