精密的Piezo扫描
高度以Piezo扫描通过Capacity Sensor进行Closed Loop
整体扫描范围的0.1%呈线性
通过1次校准,2次校准,提高数据可靠性
Scan范围
Scan范围:100um,150um, 300um, 500um, 10mm
变焦镜头
变焦镜头: 0.33x,0.55x, 0.75x, 1.0x,1.5x, 2.0x
物镜
2.5x,5x, 10x, 20x, 50x, 100x
干涉镜头
干涉镜头(Michelson型) : 0.3x, 2.5x,5x
干涉镜头(Mirau型): 10x, 20x, 50x, 100x
Multi滤光镜
多种滤光镜选择
调整干涉镜头
随温度变化的干涉纹样调整
操作台
真空操作台,选择操作台,Aligner操作台