175 mm, 350 mm

0.2 mm/s 至 4 mm/s

25 μm

120 mm

Z 方向，相对探针针头：0.38 μm（350 mm 测杆）/ 0.19 μm（175 mm 测杆）
在 Z 方向，相对于测量系统：0.04 μm

0.2 mm

在平滑表面上，取决于偏差：后缘高至 88°，前缘高至 77°

X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
Z 方向：0.2 至 10 mm/s

< 1 μm（超过 120 mm）

（Z 方向）50 mm

0.2 mm 至 120 mm

1 mN 至 120 mn