主要技术参数
扫描范围：150mm×150mm(最大可选600mm*600mm)
扫描步长：0.1μm
扫描速度：20mm/s
Z方向测量范围：27mm
方向测量分辨率：2nm
产品应用
MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和先进材料的研发。