Nanovea PS50非接触3D光学轮廓仪参数指标

主要技术参数
扫描范围：50×50（mm）
扫描步长：0.1μm
扫描速度：20mm/s
Z方向测量范围：27mm
Z方向测量分辨率：2nm
产品应用
MEMS、半导体材料、太阳能、摩擦磨损、汽车、腐蚀、砂纸、岩石等。