Z方向,测量范围大:为27mm扫描范围:25×25(mm)扫描步长:0.1μm扫描速度:20mm/sZ方向测量范围:27mmZ方向测量分辨率:3nm产品应用MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发。