ETD-2000MH微型高真空...
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配套泵溅射靶材溅射电流极限真空度样品仓尺寸样品台尺寸工作电压
涡轮分子泵（抽速为80L/S），两升飞跃真空泵
标配靶材为金靶，厚度为60mm*0.1mm。也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

电流0-500A


5*10PA

直径

  180mm，

高200mm

样品台尺寸直径80mm

220V


50HZ

                                                                                      

需要镀膜的样品



   

电子束敏感的样品非导电的样品新材料
主要包括生物样品，塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；由于样品不导电，其表面带有“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材料表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜成像时，溅射材料增加信噪比，从而获得更好的成像质量。非导电材料实验电极制作观察导电特性



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