迈克尔逊干涉仪参数指标

技术参数：
主要性能指标：
 动镜移动精度（微调）：0.0004mm
 动镜移动精度（粗调）：0.01mm
 动镜移动距离（微调）：1mm
 动镜移动距离（粗调）：12mm
 分束板和补偿板平面度：≤1/20λ
 激光输出功率：0.8-1mW