测量范围nm

±500 / ±50

±1000 / ±100

±500 / ±50

垂直分辨率nm

1

1

工作距离mm

2

2

13

激光班直径（约）μm

0.5

0.5

1

最大测量频率* kHz

20

20

20

最大视场倾角** °

20

20

15

激光波长nm

635

635

635

激光等级

1

1

1

外形尺寸mm

52 x 25 x 58

52 x 25 x 58

52 x 25 x 58

重量（约）g

100

100

100