【技术特点】-- 【SuPro】离子清洗仪IC150

1.采用高性能无油隔膜泵，抽真空及等离子处理过程中不会产生二次有机污染物； 2.采用ICP远程离子源，使等离子体严格束缚于离子源表面，达到样品表面起清洗作用的是氧活性原子及臭氧分子； 3.清洗或活化过程是纯化学反应过程（没有物理溅射作用）；即与样品表面有机污染物（碳氢化合物）发生化学反应，生成CO2，CO，H2O并被真空泵组抽出；最终实现样品表面有机污染物清洗之目的。

【技术特点对用户带来的好处】-- 【SuPro】离子清洗仪IC150

【典型应用举例】-- 【SuPro】离子清洗仪IC150