【技术特点】-- Fischione 微束定点离子减薄系统 1040

技术特色：

• 独有聚焦微束惰性气体离子束

• 极低修复电压：50 eV

• 聚焦束斑直径：1μm

• 定位精度高，去除非晶层且不产生再沉积现象

• 采用氩离子束激发二次电子成像同时实现修复及定位

• 离子束可以对准定点位置或在一个选定的区域进行进行精细修复

• 配备液氮冷台，去除热损伤

【技术特点对用户带来的好处】-- Fischione 微束定点离子减薄系统 1040

【典型应用举例】-- Fischione 微束定点离子减薄系统 1040