参数
直径 – 范围
多达 6 mm
曲率半径 – 范围
从6到35 mm – 凸面;从6 mm到50 mm – 凹面
非球面SAG
100 μm
测量时间
< 30 s (球面和非球面表面) < 60 s (复曲面)
曲率半径 –精度
< 10 μm
地面图 – 抽样
300 x 300 测量点
表面质量 – 精度
50 nm RMS
表面质量 – 重复性
2 nm RMS (1σ)
环面角误差 – 精度
< 1°